本研究利用KrF 準分子雷射(248 nm)照射高分子材料聚醯亞胺. 薄膜(polyimide, PI)在能量密度為171mJ/cm2。觀察在改變脈衝頻率. 和脈衝次數的實驗參數下,對於準分子雷射 ... ... <看更多>
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