本集節目由「 ASML 」贊助播出。
解密全球最大半導體設備商 ASML EUV 極紫外光獨家創新技術，
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＃BePartofProgress ＃Innovation
還記得去年夏天有個新聞是，
路上出現了幾台，價值 ＃台幣三十億 起跳的 ＃白色超長貨櫃車 嗎？
有人說，看到這個標誌的貨車最好閃遠一點，不然一不小心撞到，是絕對賠不起的。
今天就讓我們來聊聊這個神秘貨車背後的故事吧！
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🎥 影片重點節錄 🎥
📍 大約在 1990 年代左右，主流的「 ＃乾式曝光 」微影技術，就已經把光源的波長，從 436 奈米，逐漸縮短到 193 奈米的紫外光。
📍 但如果還想繼續縮短，把更精密的電路放到晶圓上，就會遇到「鏡片」在物理上的極限，這個 193 奈米的關卡，當時大家都認為很難突破。
📍 不過，當時台積電的研發副總經理 ＃林本堅 ，就與荷蘭的 ＃ASML 公司，共同研發出「 ＃浸潤式微影 」技術，把原先 193 奈米設備的鏡頭，浸到水裡。
📍 透過水的折射，巧妙地產生等同於波長 134 奈米的微影效果，成功突破了「 ＃乾式微影 」的極限，讓整個產業的技術又能夠持續演進下去。
📍 這個「浸潤式微影」的技術一直發展下來，最關鍵的突破，就是縮寫是「 ＃EUV 」的「 ＃極紫外光 」技術了。
當年透過水的折射，產生 134 奈米的微影效果，就已經是很了不起的技術成就了，那現在 ASML 精進到甚麼程度的技術了呢？現在就趕快點開下方影片，讓我們一起來看看吧！
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浸潤式微影技術 在 [新聞] 林本堅發明浸潤式微影技術- 看板Tech_Job - 批踢踢實業坊 的推薦與評價
https://ec.ltn.com.tw/article/paper/1442561
林本堅 發明浸潤式微影技術
2021/04/12 05:30
https://img.ltn.com.tw/Upload/business/page/800/2021/04/12/147.jpg
台積電前研發副總經理、現任清華大學講座教授林本堅。（記者洪友芳攝）
記者洪友芳／特稿
光學微影是半導體重要的關鍵技術，林本堅被稱為微影技術的先驅者，當前全球半導體高
階製程所用的浸潤式微影技術，就來自他的發明；他也是中研院第一位產業界出身的院士
。
中研院首位產業界出身院士
林本堅曾任職IBM研究中心長達二十二年時間，帶領團隊創造出許多領先全球的技術；從
IBM退休後，他在美國自行創業近十年，二○○○年在台積電前研發副總經理蔣尚義邀請
下加入台積電；二○○二年間，他改以水為介質，研發出浸潤式微影取代乾式微影，讓台
積電成功引領全球半導體業技術走向，得以推進製程至今。
半導體業從四十奈米製程開始採用浸潤式技術量產，設備大廠艾司摩爾（ASML）也跟著轉
向，全球業界跟進；從四十五奈米到目前量產的五奈米製程都是浸潤式技術，該技術已躍
為全球半導體業量產技術主流，更讓台積電技術領先英特爾、三星，居全球半導體領導地
位。
林本堅獲獎無數，除了多次獲IBM頒發傑出發明獎、傑出貢獻獎外，更當選美國國家工程
學院院士、國際電機電子工程師學會（IEEE）西澤潤一獎、Cledo Brunetti獎、工研院院
士、潘文淵文教基金會研究傑出獎、IEEE會士及首位產業界的中研院院士：二○一八年底
，有「中國諾貝爾獎」之稱的未來科學大獎，還頒給他高達一百萬美元的數學與電腦科學
獎項，顯見他在業界的重要地位。
林本堅二○一五年十一月自台積電退休，原規劃輕鬆過日子、專心傳教，沒想到清大找他
去教書；他說現在好像跟當初來台灣一樣，有很多喜歡的事要做，時間不夠分配，除了教
課外，還接任台積電與清大的聯合研發中心主任、負責主持產學大聯盟，加上每週打兩次
網球、每月最後一週負責教會講道等；林本堅笑說：「退休後更忙碌。」
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佛沒說小乘、大乘。上座部佛教馬哈希尊者帝釋所問經講記77頁拆穿假佛法大乘的騙局。
上座部佛教明昆《南傳菩薩道》是真釋迦牟尼佛的菩薩成佛之道 大乘是假菩薩成佛之道
妙法蓮華經、華嚴經、心經、金剛經、梵網經(菩薩戒)、圓覺經、楞嚴經是大乘假佛經。
阿彌陀佛 藥師佛 大日如來是大乘假佛 觀世音 維摩詰 龍樹 地藏王是大乘假菩薩
https://www.ptt.cc/bbs/soul/M.1584460614.A.E88.html
上座部佛教目犍連子帝須和那先破偽經大乘十方諸佛
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