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離子植入機 在 [回顧] 臥虎藏龍HMI、AIBT研發團隊側寫- 精華區About_Life 的推薦與評價
【記者王麗娟／新竹報導】
漢民在矽谷投資多年的兩家公司，漢民微測（HMI）及漢辰（AIBT），今年首度將成功開
發的兩台設備推出面市。兩家公司的經營及研發團隊，在Semicon Taiwan 2003前夕齊聚
台灣。深入訪談的結果，赫然發現，兩家公司的研發團隊，可謂臥虎藏龍。
投資漢民微測（HMI）及漢辰（AIBT）兩家公司的關鍵人物，漢民董事長黃民奇在公開介
紹技術團隊時說，「我們只是很努力，也很堅持，真的沒有想到居然寫下歷史」。
不鳴則已，兩家公司研發多年後一鳴驚人地推出國際水準的設備，黃民奇認為真正的關鍵
還是在於漢民很幸運，擁有這一群「志同道合的頂尖人才」。
AIBT成立5年，目前有員工32人，該公司開發出高電流低電壓的離子植入機，另業界刮目
相看。AIBT決心進入「離子植入」這項晶圓製程中的關鍵技術時，就期許自己要挑戰最尖
端的技術，一套整合了3000多個零組件的設備，日前在兩家重要客戶進行馬拉松式的驗證
後，成績優異。據了解，10項評比中，AIBT有9項遙遙領先，並大幅超前競爭者。
陳炯專精於離子束傳輸，晉身設備大廠伊藤（Eaton）的首席科學家（Chief Scientist）
時，創下年紀最輕的紀錄。48年次的陳炯，在業界已享有「離子植入機第一高手」，以及
「Beam Current大師」的盛名。
比陳炯小3歲的萬志民，也是Eaton的主要科學家（Principal Scientist），專長在晶片
傳輸系統。這兩個人常會為了關鍵性的技術問題，動輒以5～6頁的數學公式來仔細推衍及
檢驗。
陳炯回憶說，當他向黃民奇介紹兩個非常具有創新性的技術概念時，很快獲得支持；後來
聽說，原來台灣的前三台離子植入機，都是由黃民奇親手裝機，也因此，黃民奇不但對於
投資離子植入機的開發興趣濃厚，對於技術的發展趨勢，也毫不陌生。
AIBT總經理鄧念濠在Intel任職達18年； 2001年5月他受邀加入AIBT，也把Intel的管理精
神帶進公司。同仁們說，鄧念濠總是提醒大家，要謹記KISS （Keep It Simple and
Stupid）法則。他強調，有本事的人，要能馭繁為簡，而簡潔、易用的設備，才最經典。
鄧念濠認為，台灣半導體廠的技術能力已達世界一流水準，但如果要與Intel這樣的國際
大廠平起平坐，很重要的關鍵，就是獲得設備商的全力支援。他強調，AIBT的技術團隊帶
給業界國際水準的設備，可以帶給廠商的效益非常顯著。
這次沒有到台灣的瞿佳晉，與陳炯和萬志民一樣，都是大陸留美人才，他在大陸唸完南京
大學後，接著拿到美國密西根大學的學位，現任AIBT營運副總經理。原任VARIAN台灣總經
理的陳志銘，對於離子植入機本來就非常熟悉，一年多前加入AIBT擔任行銷副總經理。
漢民微測（HMI）成立的時間比漢辰（AIBT）更早。98年6月，有心創業的4位科學家，陳
仲瑋、潘中石、招允佳及王義向，在獲得漢民的支持下，開始投入電子束晶圓檢測設備的
開發，目標鎖定在90奈米以降製程技術的晶圓缺陷檢驗及製程良率提升。該公司目前員工
有50人。
漢民總經理許金榮表示，從目前的130奈米以降的次世代奈米製程技術，光學檢測都已經
面臨極限，相對地，以電子束檢測技術，發現電性缺陷及結構缺陷等問題，則愈形重要。
開發出電子束晶圓檢測設備的，乃兩岸的精英。其中，大家稱為「老大」的陳仲瑋上海清
華畢業、又是劍橋大學博士，擔任HMI總經理，負責制訂機台規格及一切營運。從台灣赴
美發展的招允佳，交大畢業後，曾任職工研院電子所，目前已是國際知名的數位影像專
家。HMI推出的電子束晶圓檢測設備，技術上最大的突破之一，數位影像比對及智慧型的
取樣技術（Smart Sampling Scheme），就是招允佳的傑作。還沒有被公開介紹給媒體的
潘中石，台大畢業後，在柏克萊加大取得博士學位，投身半導體業界超過14年。同樣是從
大陸赴美的王義向，則是電子電力的權威，對醫療設備的電力系統非常專精。由於HMI開
發的電子束晶圓缺陷檢測機，創新採用大的掃瞄場，因此在電子控制上不同以往，而這正
是王義向的專長。
負責代理AIBT及HMI設備銷售的漢民總經理許金榮表示，有信心在3年內達成年產35台電子
束晶圓缺陷檢測機，以及30台離子植入機的目標。不過，技術團隊私底下透露，以他們的
了解：「許總對外公開的預測，太保守了」。
圖：https://member.digitimes.com.tw/NewsImage/030915d13a6_0.gif
【2003.09.15／電子時報】
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