反應離子蝕刻原理 在 1.反應離子刻蝕反應離子刻蝕(RIE)是Reactive Ion Etching... 的評價 1.反應離子刻蝕反應離子刻蝕(RIE)是Reactive Ion Etching 的簡稱,它是一種採用化學反應和物理離子轟擊作用進行刻蝕的技術。 如下圖所示,RIE腔室的上 ... ... <看更多>