... 發現locos 和narrow width effect 的關係但是仔細看後發現鳥嘴多出來的地方 ... romjava: 通道效應,此是MOS在操作時Source drain 的空乏區與通道 ... ... <看更多>
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LOCOS (Local Oxidation of Silicon,局部氧化隔离)是硅的选择性 ... 导致横向氧化,因此会形成鸟嘴(bird's beak),鸟嘴处应力较大,易形成缺陷 ... ... <看更多>
... 發現locos 和narrow width effect 的關係但是仔細看後發現鳥嘴多出來的 ... 2 F :→ romjava: 通道效應,此是MOS在操作時Source drain 的空乏區與 ... ... <看更多>
小弟最近看了製程的書,發現locos 和narrow width effect 的關係但是仔細看後發現鳥嘴多出來的地方明明是影響mos的channel length 阿如圖為何是narrow width effect ? ... <看更多>
LOCOS , bird's beak problem, trench isolation. 1,937 views1.9K views. Apr 20, 2020. 36. Dislike. Share. Save. ECE GECJHALAWAR. ... <看更多>