rie原理 在 新泰真空科技有限公司- 1.反應離子刻蝕反應離子刻 ... - Facebook 的評價 如下圖所示，RIE腔室的上電極接地，下電極連接射頻電源（13.56MHz），待刻蝕基板放置於下電極，當給平面電極加上高頻電壓后，反應物發生電離產生等離子體 ... ... <看更多>
rie原理 在 Re: [問題] 關於RIE側壁不夠垂直- 看板NEMS 的評價 事實上RIE製程中加入O2的原因，是因為要在反應中將O2產生的含氧生成物 ... 跟ICP-RIE中Bosch Process所生成Passivaiton layer拿來保護側壁的原理很 ... ... <看更多>
