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氣候變遷使得永續發展 #ESG 成了最夯的議題,各國紛紛響應,加入2050淨零轉型行列。撐起全球電子產品、電腦、手機和汽車產業半壁江山的台灣半導體產業決定以身作則,喊出承諾,並積極地在各領域採取減碳足跡等措施,開始將ESG付諸實踐。
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是的!發綠電與提升能效、節能雙管齊下,才是真正有效的能源解決方案!..... 台積電導入低耗能管路加熱系統,估年省 8,000 萬度電 !!(12/31/2020 TechNews科技新報)
”提升能源使用效率,台積公司節能團隊持續尋找各種潛在的節能機會點,不僅將方法平行複製於既有廠區,亦第一時間設定為新建廠區的標準化規格,減少機台修改的風險,使節能的力道最大化。“
(中央社)台積電將低耗能管路加熱系統導入先進製程,成功使機台加熱管減少約 25% 能耗,預計民國 114 年將導入台灣全數 12 吋晶圓廠區,估計每年可省 8,000 萬度電。
台積電表示,供應晶圓生產機台的氣體管路,以往為避免管線內部形成結晶、造成堵塞,必須在機台運作期間,對管路外部的加熱設備不斷供電以維持管路表面高溫,確保管線通暢。
傳統套件僅著重於管線的加熱功能,而忽略表面材質的保溫表現,導致熱能易失而造成電力浪費。台積電節能團隊與供應商合作,運用以往主要應用於建築物隔熱的氣凝膠材質,取代玻璃纖維做為供氣管路外層,成功開發低耗能管路加熱系統。
台積電今年 3 月將低耗能管路加熱系統在晶圓 15 廠第 7 期試用,有效降低管路表面溫度,減少 25% 能耗,廠務處新廠設計部並將系統列為新建廠區的標準設施,將於 110 年導入晶圓 18B 廠 3 奈米及 2 奈米製程。
台積電規劃既有的國內 12 吋晶圓廠區將於 114 年前完成系統更新,估計屆時每年將可減省 8,000 萬度電。
針對揮發性有機氣體削減,台積電攜手供應商,採用沸石濃縮雙轉輪系統技術,將原經過第一道轉輪吸附並燃燒後的高濃度製程廢氣,新增第二道轉輪濃縮流程後再送回第一道轉輪反覆處理,成功使揮發性有機氣體削減率達 99.5%。
台積電將沸石濃縮雙轉輪系統列為未來新建廠區的標準設備,109 年已完成建置於晶圓 15B 廠、晶圓 18A 廠,預計 110 年第一季完成晶圓 18B 廠建置,逐步朝向智慧綠色生產環境目標邁進。
參考資料:
台積公司導入低耗能管路加熱系統,民國114年起每年再省8,000萬度電
https://csr.tsmc.com/csr/ch/update/greenManufacturing/caseStudy/41/index.html
完整內容請見:
https://technews.tw/2020/12/31/tsmc-introduces-low-energy-consumption-pipeline-heating-system
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🌟光洋科(1785)
躍升國內首家供應高階半導體前段製程靶材企業
台積公司攜手供應商實現循環經濟,打造在地綠色供應鏈,與供應商光洋應用材料科技公司合作,民國109年透過回收製程廢棄資源、精煉為原物料,成功再製成符合品質標準的靶材,並正式導入量產產線。
成功開創了濺鍍靶材的循環經濟模式,為半導體材料的製造及使用寫下嶄新一頁
光洋科能夠打入到台積電的供應體系,未來成長的爆發力值得期待,目前籌碼面來看券資比逐漸攀高有軋空的籌碼優勢,未來的展望如何?
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「台積電企業社會責任電子報」
—厚植供應循環經濟力 活化廢棄資源為再生靶材
https://www.tsmc.com/csr/ch/update/greenManufacturing/caseStudy/34/index.html
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